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真空等離子表面處理機(jī)常見問題和解決方法

發(fā)布時(shí)間:2019/8/5 7:27:02 | 信息來源:
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     真空等離子表面處理機(jī)常見問題和解決方法

      問:發(fā)現(xiàn)試驗(yàn)效果不佳,怎么辦?

      請(qǐng)檢查泵油是否變暗變臟,并及時(shí)更換。
      問:如果設(shè)備買不起輝光怎么辦?
      1. 射頻燈未能提供射頻;
      2. 密封性可能存在漏氣問題。
      問:如何檢查射頻燈的問題?
使用設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試燈管,將其放入主體,打開“RF”開關(guān)到“Hi”位置,并通過觀察燈的狀態(tài)來判斷RF燈的問題(在此過程中不需要真空)。
      問:如何解決密封問題?
      1. 確保使用的真空泵能夠達(dá)到或超過*小抽速1.4立方米每小時(shí)和極限負(fù)壓不大于200mTorr;
      2. 然后檢查真空軟管、所有軟管卡箍和氣體進(jìn)氣管路連接件是否正確并擰緊,等離子清洗艙門是否正確關(guān)閉,門密封圈的地方是否清潔無缺陷。
      問:是否有任何建議的清潔工藝參數(shù)?
      答:射頻功率級(jí)應(yīng)設(shè)為中高檔。600-800mt壓力和1-3分鐘的加工時(shí)間是較好工藝參數(shù)的初始值。*佳工藝參數(shù)將取決于樣品材料和預(yù)期應(yīng)用。需要進(jìn)行一些實(shí)驗(yàn)來確定這些*佳值。
      問:如何測(cè)量真空負(fù)壓值?
      答:我們可以購(gòu)買相應(yīng)的測(cè)量設(shè)備,如真空監(jiān)測(cè)裝置或氣流混合器。
      問:為什么泵油會(huì)回來?
      答:如果配套泵是油泵,如果工藝完成后設(shè)備艙內(nèi)壓力沒有立即降低,油可能會(huì)從真空油泵回流,造成污染系統(tǒng)。我們建議使用具有防回燃功能的真空泵。
      問:如何清洗真空腔內(nèi)壁?

答:真空室的內(nèi)壁、門和O形圈需要定期清洗。清洗方法請(qǐng)參照標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室玻璃器皿清洗方法,如浸泡在酒精、丙酮或異丙醇中或輕輕擦拭等離子室表面。

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