等離子技術針對電子元器件的防腐蝕涂層
對電子器件和組件提供有選擇性防腐蝕保護以應對氣候的影響對于各類產(chǎn)品的可靠性至關重要。現(xiàn)代轎車上的所有缺陷，幾乎一半是由于氣候引起的老化和電子元器件發(fā)生的腐蝕損害而造成的。即便是在極端溫度條件下，對濕度、化學物質(zhì)和有害氣體進行防護，是避免這樣的系統(tǒng)故障的必不可少的先決條件。

當前，主要是通過油漆、樹脂或凝膠（硅）涂層來滿足這些要求。然而，這些工藝的應用費力而又費時，在經(jīng)濟上和環(huán)保上都表現(xiàn)出局限性。通常使用的溶劑型涂層系統(tǒng)相對較厚且很難進行涂層區(qū)域選擇。根據(jù)具體的保護涂層種類，可能還會出現(xiàn)如散熱不良、吸收水分、涂層脫落或傳感器信號衰減等缺陷。

而利用等離子技術，可有效沉積超薄、透明和絕緣的防老化等離子聚合涂層，并有選擇性的保護電子器件，特別是印刷電路板。該涂層高效的防護阻隔作用，不僅會延長產(chǎn)品的壽命、提高產(chǎn)品的安全性，還將顯著降低成本。大氣等離子體處理機對HDI，柔性和剛性電路板制造進行了去污和回蝕作業(yè)。它結合了市場領先的等離子技術，結合基于多年經(jīng)驗的應用特定開發(fā)。

    可擴展等離子體系統(tǒng)，可以從4到8個等離子體電池升級，隨著生產(chǎn)要求和操作而增長，是處理低容量，高混合物產(chǎn)品的中小型企業(yè)或研發(fā)機構的理想選擇，旨在滿足不斷變化的生產(chǎn)環(huán)境，等離子體系統(tǒng)在其前身PCB-800/1600及其同時代系統(tǒng)之間保持了完美的平衡。該室仍然是純粹的PCB系列”的尺寸和功能，但其他一切都已升級系列技術 ，從氣體分配和泵包到用戶界面和控制參數(shù)。通過共享類似的組件和接口，可以更輕松地提高等離子體處理PCB面板的容量。系統(tǒng)可以處理低容量，高混合度的產(chǎn)品，是中小型企業(yè)或研發(fā)機構的理想選擇。隨著生產(chǎn)量的增加，系統(tǒng)可以從四個等離子體電池升級到*多八個等離子體電池。

    與其他系列等離子體系統(tǒng)類似，是獨立的，需要*小的占地面積。底盤裝有等離子體室，控制電子設備，40 kHz射頻發(fā)生器，泵/鼓風機組合和自動匹配網(wǎng)絡?？梢詮那懊姘寤蚝竺姘暹M行維護檢修。

    等離子體室由優(yōu)質(zhì)鋁制成，具有出色的耐用性。該腔室設計用于在單獨的等離子體電池中處理PCB面板，以提供具有優(yōu)異處理均勻性的高蝕刻速率。

 等離子體處理系統(tǒng)

    大氣等離子體處理機使用單步過程提供了柔性材料兩側的業(yè)界領先的等離子體處理均勻性。它是一個獨立的真空等離子體處理系統(tǒng)，具有節(jié)省空間的緊湊型底盤，具有兩個易于訪問的前裝載門。雙機架等離子體室可在一個周期內(nèi)容納多達十八個20“x 24”面板，每小時可達80-120個單位（UPH）。FlexVIA系統(tǒng)的先進的水平電極設計，集成了機架，可提供等離子體處理均勻性的*佳材料對準。它也不需要使用昂貴的氟氣。相反，利用環(huán)境友好且具有成本效益的氣體等離子體溶液如氬氣（Ar）和氧氣（O2）。

    等離子體處理系統(tǒng)其先進的水平電極設計，集成了機架，提供了*佳的材料對準，而雙機架式機箱可以在一個周期內(nèi)容納多達三十個20“x 24”的面板，使每小時可達140-200單位。是一種完全獨立的真空處理系統(tǒng)，具有集成的卷對卷材料處理，用于生產(chǎn)PCB制造環(huán)境。等離子體處理均勻性是表面激活，去除和回蝕應用中柔性電路板制造技術的關鍵操作特性。集成的卷對卷材料處理系統(tǒng)確保精確控制薄至25微米的基材的輥速度，張力和邊緣引導?；诠鈱W的邊緣引導檢測允許在倒帶操作期間可靠的控制。底板加載簡單，可通過四個門輕松訪問裝載部分。有三種配置可滿足各種生產(chǎn)需求。1.表面等離子體波是在兩種界面附近存在的波，界面兩側的折射率分布對場分布有很大的影響，利用這一點能夠進行傳感。目前利用Kretschmann結構進行生物傳感的技術已經(jīng)得到了極大的發(fā)展，這種傳感技術結構簡單，靈敏度高，檢測過程中無需標記物，可實時監(jiān)測樣品結合過程，傳感芯片可重復利用，響應速度快等諸多特點。目前該技術可用于氣體、 液體和有機薄膜等分析，目前主要用于生命科學和化學領域。目前市場上主要產(chǎn)品有瑞典Biocore AB公司生產(chǎn)的Biocore 3000等。

表面等離子體技術應用

2.表面等離子體波具有局域分布的特性，而且其分布深度可小于波長量級，突破衍射極限，使得表面等離子體波能夠應用于制作亞波長量級的光電子器件的生產(chǎn)，有利用光電子集成器件的制作。例如：可以制作亞波長量級的波導，亞波長量級的布拉克反射鏡,亞波長量級的透鏡等。由于能夠突破極限，所以能夠應用表面等離子體效應來做近場顯微鏡，做曝光等等。

3.表面等離子體波在太陽能電池和LED等新型能源相關器件方面的應用。目前可以在太陽能電池上利用表面等離子體效應來提高太陽能電池的光電轉換效率，同樣也可以在LED上應用表面等離子體效應提高其出光效率。如果能研制出商業(yè)化的產(chǎn)品，那么對于解決人類的能源問題，表面等離子體波也能貢獻自己的一份力量。